序号区域仪器名称使用目的1制绒硅片分选仪硅片分选隐裂、尺寸等不良（自切半片需要6台全检；采购成品半片需1台抽检）2CVD/PVD干花篮清洗设备干花篮清洗3CVD/PVD离线PL开线测试各工序不良，及时发现问题，提升开线速度4CVD/PVD氦检仪CVD和PVD真空设备检查漏点，快速找到异常点5丝网浆料离心搅拌机搅拌浆料6...
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少子寿命测量仪BCT-400Sinton BCT-400是基于涡流传感器和红外光致光电导方法直接测量单晶或者多晶硅棒体少子寿命的设备，具有瞬态和准稳态两种测量模式。该设备可探测3mm 深度范围少子寿命，并能输出不同载流子注入水平下的少子寿命值，可实现低电阻率硅单晶少子寿命测量，并能通过软件端光强偏置实现单晶缺陷密度计算...
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